DIN EN 62047-10-2012 半导体器件.微电子机械器件.第10部分:MEMES材料微极压缩试验(IEC62047-10-2011).德文版本EN62047-10-2011
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时间:2024-05-15 05:54:01
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【英文标准名称】:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part10:Micro-pillarcompressiontestforMEMSmaterials(IEC62047-10:2011);GermanversionEN62047-10:2011
【原文标准名称】:半导体器件.微电子机械器件.第10部分:MEMES材料微极压缩试验(IEC62047-10-2011).德文版本EN62047-10-2011
【标准号】:DINEN62047-10-2012
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2012-03
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DE-DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:Compression;Compressionstresses;Compressiontests;Dimensions;Electricalengineering;Materials;Measurement;Measuringtechniques;Microelectronics;Microsystemtechniques;Pressuretests;Properties;Samples;Semiconductordevices;Systemengineering;Tensilestrain;Tensiletesting;Testing;Testingdevices;Testingsystem;Thinfilms;Thin-filmdevices;Thin-filmtechnology
【摘要】:
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:31_080_01;31_220_01
【页数】:13P;A4
【正文语种】:德语
【原文标准名称】:半导体器件.微电子机械器件.第10部分:MEMES材料微极压缩试验(IEC62047-10-2011).德文版本EN62047-10-2011
【标准号】:DINEN62047-10-2012
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2012-03
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DE-DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:Compression;Compressionstresses;Compressiontests;Dimensions;Electricalengineering;Materials;Measurement;Measuringtechniques;Microelectronics;Microsystemtechniques;Pressuretests;Properties;Samples;Semiconductordevices;Systemengineering;Tensilestrain;Tensiletesting;Testing;Testingdevices;Testingsystem;Thinfilms;Thin-filmdevices;Thin-filmtechnology
【摘要】:
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:31_080_01;31_220_01
【页数】:13P;A4
【正文语种】:德语
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